アクチュエータの種類（油圧と電動）

高推力で精密な制御を可能にするサーボアクチュエータには、主に電気油圧式アクチュエータ、電気機械式アクチュエータ、電気静油圧式アクチュエータの３種類があります。

電気油圧式アクチュエータ（Electro-Hydraulic Actuation(EH)）

電気油圧式アクチュエータは、油圧ポンプユニットで加圧された作動油を、サーボ弁等の作動油の流量や圧力を制御する制御弁により調整してシリンダに供給することでシリンダの速度や推力を発生するアクチュエーション装置です。

作動油が持つエネルギーを制御弁により無段階に推力や速度に変換するため、制御弁とシリンダの組み合わせによって小さな体格で高い推力を発生することが可能です。また、流量や圧力を精度よく調整することが可能なサーボ弁を用いることで、高精度な制御と高い出力性能を両立することができます。

電気機械式アクチュエータ（Electro-Mechanical Actuation(EM)）

電気機械式アクチュエータは、サーボモータとボールスクリュー等の動作変換機構をにより並進の動作を発生するアクチュエーション装置です。精密ボールスクリューやローラースクリューを用いることで、サーボモータのトルクを精度よく出力軸に伝えることができます。

サーボモータとアンプは制御弁と比較して効率が高いため、システムの省エネ化が可能です。また、定期メンテナンスが必要となる作動油を用いないため、メンテナンスの省力化のメリットもあります。

電気静油圧式アクチュエータ（Electro-Hydrostatic Actuation (EHA)）

電気静油圧式アクチュエータは、電気油圧式アクチュエータの作動油による高推力性能と、電気機械式アクチュエータのサーボモータによる省エネルギー特性を併せ持つ、言わばハイブリッドなアクチュエーション装置です。

電気機械式と同様にサーボモータを使用する事で、電気油圧式における油圧ポンプユニットとサーボ弁の機能を統合し、シリンダへ供給する作動油の圧力と流量調整を同時に行います。